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トッパンフォトマスク、「テクセンドフォトマスク株式会社」に社名を変更

トッパンフォトマスク、IBMとEUVフォトマスクの共同開発を開始

トッパンフォトマスクとEVグループ、フォトニクス製造向けナノインプリントリソグラフィーの普及に向け協業

凸版印刷、半導体原版メーカーを会社分割により設立